臭氧消毒柜是一种利用臭氧气体进行消毒的设备，其工作原理主要包括臭氧生成和臭氧消毒两个步骤。
首先，臭氧生成。臭氧是一种具有强氧化性的气体，能够迅速杀灭空气中的细菌、病毒和真菌等微生物。为了产生臭氧气体，臭氧消毒柜内通常设有臭氧发生器。臭氧发生器一般由高纯度的氧气通过电场放电方式产生。具体而言，臭氧发生器中通过电极放电产生制造出电离的气体，这些气体与空气中的氧分子发生反应，生成臭氧（O3）。这个过程是通过电弧的放电冲击对空气中的氧气进行分解，并将分解产生的氧分子与空气中的氧分子结合而生成臭氧。臭氧发生器一般具有好效率和快速响应的特点，能够较快地生成臭氧气体。

接下来，臭氧消毒。当臭氧生成后，臭氧气体进入臭氧消毒柜的密封室内进行消毒。臭氧通过其强氧化性，能够破坏微生物的细胞壁和膜，破坏其DNA和RNA结构，从而导致微生物的死亡。臭氧消毒柜通常会将具有消毒需求的物品放置在密封室内，打开臭氧发生器使其产生臭氧气体，并通过特定的循环设备将臭氧气体均匀地散布在密封室内。

臭氧气体会将微生物的外壳、组织和细胞结构氧化破坏，消除微生物的生存能力。臭氧消毒柜通常会通过控制臭氧气体的浓度和接触时间来达到有效的消毒效果。臭氧的消毒速度相比于常规的氯化消毒剂更快，且臭氧对不同类型的细菌和病毒均有较好的杀灭效果。

总的来说，臭氧消毒柜的工作原理是通过臭氧发生器生成臭氧气体，再将其散布在密封室内，利用臭氧的强氧化性来杀死细菌、病毒和真菌等微生物。臭氧消毒柜具有消毒效果好、速度快以及无残留等优点，在医疗卫生、食品加工等领域得到广泛应用。